目前洁净室对送入空气的净化方法，最主要和使用最广泛的方式是空气过滤法。送入洁净室的青洁空
气，主要是在靠送风系统的各个部位设置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生
物。
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